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集成電路用超純水設備的工藝流程以及特點(diǎn)

來(lái)源:南京純水設備??????2021/6/1 10:06:27??????點(diǎn)擊:

南京純水設備】集成電路用超純水設備主要采用雙級反滲透+EDI連續電除鹽技術(shù)。前置預處理可有效去除原水中的膠體、懸浮物、余氯等雜質(zhì),通過(guò)雙級反滲透進(jìn)一步提高水質(zhì),以延長(cháng)EDI膜堆使用壽命。在用水點(diǎn)前采用氮封水箱,使產(chǎn)水水質(zhì)更加穩定,電阻率能達到18 MΩ*cm(25℃)。

集成電路用超純水設備工藝流程:

原水→原水泵→石英砂過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水裝置→保安過(guò)濾器→一級高壓泵→一級反滲透→中間水箱→二級高壓泵→二級反滲透→EDI泵→EDI系統→拋光樹(shù)脂→氮封水箱→用水點(diǎn)南京超純水設備

集成電路用超純水設備的特點(diǎn)

1、EDI膜堆有連續運行性,離子交換和再生產(chǎn)同步,無(wú)需停機再生,無(wú)需酸堿儲運設備及計量設備等。

2、EDI采用連續電除鹽技術(shù),離子交換和再生是同步的,其水質(zhì)非常穩定,

3、采用氮封水箱,可有效防止超純水與空氣接觸,進(jìn)一步穩定水質(zhì)。南京實(shí)驗室純水設備

4、操作簡(jiǎn)單,只需要調節EDI模塊的電壓、電流,實(shí)現了全自動(dòng)的控制。

5、EDI超純水設備占地小,設備安裝維修簡(jiǎn)單便捷,自動(dòng)化程度高,便于管理。南京反滲透純水設備 南京EDI純水處理設備